近十多年來,科學技術日新月異,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,同時對無塵凈化技術的發展提出了更高的要求。萬級無塵車間在半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造等行業非常多見。那么,何為萬級無塵車間,它的標準是什么?無塵車間空氣潔凈度等級的檢驗,應以動態條件下測試的塵粒數為依據。潔凈廠房空氣潔凈度的測試,應符合如下表規定:
萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣,將室內的污染逐漸排出,來實現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回流或渦流,不同等級的凈化車間,主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現。十萬級、萬級和百級潔凈車間的凈化級別標準:
萬級凈化車間標準包括哪些內容?1.塵粒最大允許數(每立方米);2.大或等于0.5微米的粒子數不得超過350000個,大或等于5微米的粒子數不得超過2000個;3.微生物最大允許數;4.浮游菌數不得超過100個每立方米;5.沉隆菌數不得超過3個每培養皿。壓差:相同潔凈度等級的凈化車間壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa,凈化車間與非凈化車間之間要≥10Pa。
萬級凈化車間參數要求:換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次.壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa 平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
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