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1、大氣塵（新風）
室外大氣的含塵濃度
|
地區 |
計重濃度 |
計數濃度(≥0.5μm) |
|
|
mg/m3 |
個/L |
個/ m3 |
|
|
市區 |
0.1~0.35 |
5x104~23.3x104 |
15x105~70x105 |
|
郊區 |
0.05~0.3 |
2x104~10x104 |
10x105~30x105 |
|
農村 |
0.01~0.1 |
1x104~3.3x105 |
3x105~10x105 |
2、作業人員發塵（主要塵源）
作業人員發塵量(一)｛粒/（人?min）≥0.5μm｝
|
序號 |
人員動作 |
普通工作服 |
潔凈工作服 |
|
|
分套型 |
全套型 |
|||
|
1 |
立 |
339000 |
113000 |
5580 |
|
2 |
坐 |
302000 |
112000 |
7420 |
|
3 |
臂上下運動 |
2980000 |
298000 |
18600 |
|
4 |
上體前屈 |
2240000 |
538000 |
24200 |
|
5 |
臂自由運動 |
2240000 |
298000 |
20600 |
|
6 |
頭部運動 |
631000 |
151000 |
11000 |
|
7 |
上體轉動 |
850000 |
266000 |
14900 |
|
8 |
屈身 |
3120000 |
605000 |
37400 |
|
9 |
踏步 |
2800000 |
861000 |
44600 |
|
10 |
步行 |
2920000 |
1010000 |
56000 |
作業人員發塵量(二)｛粒/（人?min）≥0.5μm｝
|
序號 |
工作服型式及材料 |
動作 |
|
|
坐(四肢、頭部自由活動) |
走動 |
||
|
1 |
全套型粗織尼龍工作服 |
38.3x104 |
322x104 |
|
2 |
分套型密織尼龍工作服 |
18.1x104 |
128x104 |
|
3 |
分套型密織尼龍工作服 內襯的確良工作服 |
7.2x104 |
73.8x104 |
|
4 |
棉的確良工作服 |
20.5x104 |
108x104 |
|
5 |
電力紡工作服 |
101x104 |
677x104 |
|
6 |
普通服裝 |
210x104 |
300x104 |
3、建筑圍護結構產塵（屋頂、墻、地板）
無塵車間建筑表面發塵量｛粒/（min?┫地面）≥0.5μm｝
|
序號 |
建筑表面發塵量 |
資料來源 |
|
1 |
（0.8~1）*104 |
電子部十一院《設計通訊》1975年 |
|
2 |
（0.3~0.9）*104 |
電子部十一院《蘇州半導體器件一廠無塵車間測定》1978年 |
|
3 |
0.77*104 |
電子部十一院《北京西城半導體材料廠水平層流無塵車間測定報告》1975 |
|
4 |
4.5*104 |
電子部十一院《出國考察報告》(74)013 1974年 |
無塵車間建筑表面發塵量與作業人員發塵量的比較
|
項目 粒徑
|
無塵車間建筑表面發塵量 ｛粒/（min?┫地面）｝ |
人員發塵量｛粒/(人?min)｝ |
|
|
靜止(基本靜止) |
人員正常操作 |
||
|
≥0.5μm |
1.25*104 |
10*104 |
50*104 |
4、工藝生產過程產塵（與生產設備、生產工藝、生產過程有關，不同的生產過程、工藝產塵量不同）。
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